汽相超聲波清洗器構成和硅片超聲波清洗器

　　要提高超聲波清洗器的功率怎么做?這個是很多企業都想知道的，這要看已有的功率發生器電路是什么形式的，是不是有小改造的余地，比如：發現有將近失效的器件，特別是電解電容器，更換試試。用降壓變壓器的，加高次級電壓試試等等。最主要的挖潛途經是重調一下輸出匹配。因為目前的超聲清洗幾乎都是采用串聯諧振的工作方式。汽相超聲波清洗機就是氣相機，一般氣相機槽位分為三槽到5槽。

　　組成：主要由超聲波換能器、發生器，冷排 管、壓縮機組，循環泵、油水分離器、加熱系統，電控箱幾個主要元件組成組成: 在三槽式清洗機基礎上增加一級超聲波清洗。

　　工位：三槽順序一般是： 超聲+洗劑清洗 超聲+市水清洗 IPA烘干 (二槽比一槽高些向一槽溢流市水以將浮在表面的油漬溢流走)

　　四槽順序一般是： 超聲+洗劑清洗 超聲+洗劑清洗超聲+市水清洗 IPA烘干

　　五槽順序一般是： 超聲+洗劑清洗 超聲+洗劑清洗超聲+市水清洗 超聲+市水清洗 IPA烘干

　　注明：雖然是一體機，一般前面的幾個槽上部一個大的開口，(用的洗劑是揮發的性的話就會公用一組冷排管)，最后一個IPA烘干槽獨立的用一組冷拍管。

　　下面介紹下硅片超聲波清洗器在半導體材料的制備過程中，每一道工序都涉及到清洗，而且清洗的好壞直接影響下一道工序，甚至影響器件的成品率和可靠性。因此，硅片的清洗引起了專業人士的重視。以前很多廠家都用手洗的方法，這種方法人為的因素較多，一方面容易產生碎片，經濟效益下降，另一方面手洗的硅片表面潔凈度差，污染嚴重，使下道工序化拋腐蝕過程中的合格率較低。同時，由于磨料中的金剛砂粒徑較大，造成磨片后的硅片破損層較大，懸掛鍵數目增多，極易吸附各種雜質，如顆粒、有機雜質、無機雜質、金屬離子、硅粉粉塵等，造成磨片后的硅片易發生變花、發藍、發黑等現象，使磨片不合格。

　　超聲波清洗設備除銹去氧化皮工藝以下幾點：

　　1.清洗氧化皮

　　a. 除銹液 ：(TY-7005)20%+水

　　b. 清洗溫度：50度-60度

　　c. 超聲波(1.5KW 316L)

　　d. 時間：10-20分鐘

　　2. 冷水漂洗

　　a. 水(室溫)

　　b. 超聲波

　　c. 時間：5分鐘

　　3. 防銹液漂洗

　　a. 防銹液TY-P748，5%+水(95%)

　　b. 超聲波

　　c. 時間：3-5分鐘

　　4. 干燥

　　5. 防銹油侵泡1-2分鐘

　　杭州蕭山余祝超聲波設備廠是一家從事專業超聲波清洗器研制、開發、生產為一體的企業，超聲清洗技術是現代工廠工業零件表面清洗的新技術，在未來的企業生產中將取代傳統的人工清洗、沖洗和煤油清洗，已廣泛用于電鍍、離子鍍膜、汔車零件等行業，超聲波清洗機廠家咨詢電話：0571-83513235。

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